用于半导体行业的P84部件

TECAPOWDER P84 是一种高纯度的聚酰亚胺，专门为满足芯片制造业的苛刻需求而开发。它是一种独特的聚酰亚胺，可以被制作成机加工零件，而不需要二次、后固化步骤。成品部件从表层到内层都表现出均匀的亚胺化。这种完全亚胺化的材料对硅片加工成集成芯片过程中使用的各种酸和等离子体气体显示出极好的耐化学性。

TECAPOWDER P84的基础成分是赢创的P84®。

• 高纯度
• 不易熔化
• 在高温下尺寸稳定
• 可加工成成品部件
• 优异的耐等离子体性

热稳定性

TECAPOWDER P84 可用于腔体温度较高的关键性蚀刻工艺。P84的长期热稳定性很好。它的抗折强度很高，特别是在高温下。即使在高温下，其室温抗折强度也能保持很高的比例。由于其玻璃化温度很高，在其Tg之前的尺寸稳定性非常好。TECAPOWDER P84 是一种不可熔化的聚合物，因此，在高暴露温度下，它有很好的负载蠕变性。

耐化学性

P84的完全亚胺化性质产生了对各种溶剂、酸和液压油的出色的耐化学性。P84聚酰亚胺是采用新型的异氰酸酯技术生产的，它产生了一种独特的完全亚胺化的材料，无需固化。其他聚酰亚胺必须进行模压和固化。固化使亚胺环闭合，并产生水作为副产品，通过表面迁移出去。由TECAPOWDER P84制成的成品部件是无孔的，这就最大限度地减少了液体向表层的迁移，极大地提高了耐化学性。

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